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Controlador y medidor de flujo másico de alta precisión serie para procesos de fabricación de semiconductores

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Controlador y medidor de flujo másico de alta precisión serie para procesos de fabricación de semiconductores
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Atributos clave

Otros atributos

Soporte personalizado
OEM
Lugar del origen
Henan, China
Potencia
Electrónica
Garantía
1 año
Marca
CYKY

Plazo de entrega

Descripciones de productos del proveedor

Controlador y medidor de flujo másico de alta precisión serie para procesos de fabricación de semiconductores

 

Descripción del producto

 

Medidor y controlador de flujo másico serie

Descripción del controlador y medidores de flujo másico de la serie

La serie adopta un sensor de diferencia de temperatura térmica capilar, y la precisión de la medición no se ve afectada por la temperatura y la presión. El sustrato está hecho de acero inoxidable 316L, que es adecuado para gases tóxicos y corrosivos, y la presión máxima de trabajo puede alcanzar 1500 Psi. Circuito de control de medición digital, mayor capacidad antiinterferencia, comunicación digital compatible con señal analógica 0 ~ 5V/4 ~ 20mA, la parte de interfaz eléctrica adopta la supresión de sobretensiones y el circuito de protección contra sobretensiones y sobrecorriente para garantizar un funcionamiento estable y fiable del sistema. La serie FDC ha pasado la certificación CE y Rohs, que es la mejor solución para aplicaciones digitales económicas.

Parámetros técnicos del controlador Massflow y de las medidas

Precisión de flujo

± % 1 F.S; ± 1.5% F.S(>100 SLM)

Repetibilidad

± 0.2% F.S

Rango de control

2% ~ 100% F.S

Tiempo de respuesta

<2S

Coeficiente de temperatura

Cero: <0.05% de F.S./℃. Alcance: <0.1% de SP/℃

Coeficiente de presión

0.2% de S.P. / Barra

Temperatura de funcionamiento

0~50℃

Tasa de fugas

1x10-9 ATM. CC/seg He

Tiempo de precalentamiento

Precisión de 5 min a ± 2% F.S (30 min para lograr la mejor precisión)

Parámetros eléctricos

 

Suministro eléctrico

+ 15 ~ 24 V CC

Consumo máximo de energía

10W(MFC);3W(MFM)

Comunicación digital

RS-485 (Modbus Rtu)

Comunicación analógica

0 ~ 5 V / 4 ~ 20mA

Interfaz eléctrica

Conector D de 9 pines (macho)

Parámetros mecánicos

 

Tipo válvula

Normalmente cerrado (MFM no tiene sentido)

Material sustrato

Acero inoxidable 316L

Material de sellado

FKM, EPDM, BUNA

Procesar conexiones

Accesorios de tubo/VCR

 

Características del controlador y medidores de flujo másico de la serie

Estabilidad y precisión a largo plazo

La tecnología única de detección térmica puede proporcionar un excelente rendimiento de relación señal-ruido para mejorar la precisión de medición y control en condiciones de punto de ajuste bajo Estabilidad de punto cero a largo plazo, la Variación anual es inferior al 0.2% de la escala completa.

Comunicación múltiple

Esta serie está equipada con un sistema de circuito digital, que es compatible con señales analógicas de 0 ~ 5V/4 ~ 20mA, pero también puede comunicarse a través de la comunicación digital de la RS-485. La interfaz de comunicación multiprotocolo puede simplificar la operación de integración.

Resistente a gases tóxicos y corrosivos

El Sensor de diferencia de temperatura térmica capilar aísla eficazmente la erosión de los gases corrosivos. El sustrato está hecho de acero inoxidable 316L, y la válvula química resistente a la corrosión tiene una gran adaptabilidad a los gases tóxicos y corrosivos.

Amplio rango de presión y flujo

El rango de flujo de esta serie puede ser de 3 SCCM a 2500 lpm, y la clasificación de resistencia a la presión y la presión de trabajo también son de hasta 500 psi/100 bar. La válvula solenoide diferencial de alta presión es adecuada para la medición y el control de flujo.

Diseño modular para un fácil mantenimiento

Un puerto de servicio accesible para el usuario simplifica la instalación, la solución de problemas y el diagnóstico sin interferir con el funcionamiento del controlador de flujo, y una carcasa metálica duradera y estable evita daños a la unidad durante la instalación.

Aplicación del controlador y medidores de flujo másico de la serie

Sistema de reacción Petroquímica

Para optimizar una reacción química, se debe encontrar la mejor combinación de compuestos e inyectarlos en el reactor en una proporción óptima. Se puede mantener una cierta presión y temperatura, y se puede agregar un catalizador para acelerar la reacción. Cuando el reactor está presurizado, los gases de reacción entrantes siempre deben medirse con precisión.

Instrumento cromatográfico de gases

La cromatografía de gases es una técnica analítica ampliamente utilizada para el análisis cualitativo y cuantitativo de muestras. La muestra se inyecta a través del inyector de muestra en el flujo de gas portador. El flujo de gas se controla mediante un controlador de flujo másico de alta precisión. La muestra a analizar pasará a través de una columna calentada estacionaria, eluyendo los analitos en diferentes momentos.

Aplicaciones del proceso de preparación de materiales

En la preparación de algunos materiales nuevos, como el grafeno y los cristales de diamante, generalmente se utiliza la deposición química de vapor. El controlador de flujo másico de gas puede controlar con precisión el flujo de gas en la Cámara de reacción del equipo para mejorar la pureza de los cristales preparados. Garantizando así la calidad del producto. Bienvenido a visitar nuestra empresa libremente.

Sistema de protección Ar para siderurgia

Debe haber suficiente suministro de argón en el proceso de fundición de acero. Por otro lado, dado que el argón es caro, el suministro debe ser limitado y bien controlado. Además, cuando la presión en el convertidor cambia, el equipo de control de suministro de aire debe poder compensar esto. Las líneas de gas y las válvulas de cierre deben ser organizadas por el cliente.

 

 

Ventajas

 

Información de la empresa

 

Empresa Introducción

Fundada en 2005, Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd. es una empresa especializada en el desarrollo y la producción de equipos de investigación de tecnología de laboratorio. Los productos se mezclan, prensan, queman, cortan, muelen, pulen, recubren, equipos analíticos y consumibles relacionados. Los productos incluyen equipos de sinterización de laboratorio, equipos de recubrimiento, etc. En la actualidad, se ha exportado a 25 países y regiones como los Estados Unidos, Europa y el sudeste asiático, y ha sido bien recibido por varias unidades de investigación científica.

 

Tenemos un equipo de investigación y desarrollo de tecnología maduro, el número de técnicos es de 33, la empresa tiene 150 personas, más de 500 metros cuadrados de espacio de oficina, la fábrica cubre un área de aproximadamente 1.500 metros cuadrados ubicada en el Parque Industrial Electrónico DE LA Zona de Alta Tecnología de Zhengzhou. Los productos se encuentran principalmente en el mercado de investigación, sirviendo a la investigación científica en los laboratorios de universidades y colegios, y también pueden personalizar los productos de acuerdo con sus necesidades.

 

Preguntas frecuentes

 

 
Preguntas frecuentes

 

Q. ¿Es usted un fabricante o una empresa comercial?

A.Somos fabricantes profesionales de instrumentos de laboratorio, tenemos su propio equipo de diseño y fábrica, tenemos experiencia técnica madura y podemos garantizar la calidad de los productos y el precio óptimo.

 

Q. ¿Cómo es el sistema de servicio posventa de productos de su empresa?

A.El período de garantía del producto es de 12 meses, podemos proporcionar mantenimiento de por vida. Contamos con departamentos profesionales de preventa y posventa que pueden responderle en 24 horas para resolver cualquier problema técnico.

 

Q. ¿Cuánto dura el tiempo de entrega? Si quiero personalizar el instrumento, ¿cuánto tiempo tarda?

A.1. Si los productos están en stock, son 5-10 días. 2. Podemos proporcionar servicios personalizados para nuestros clientes. Por lo general, tarda de 30 a 60 días dependiendo de las especificaciones del instrumento personalizado.

 

Q. La fuente de alimentación y el enchufe de nuestro país son diferentes. ¿Cómo lo resuelves?

A.Podemos suministrar un transformador y un enchufe de acuerdo con sus requisitos locales de acuerdo con el enchufe de alimentación de diferentes países.

 

Q. ¿Cómo pagar?

A.T / T, L / C, D / P, etc., se recomienda utilizar la garantía comercial de Cooig.

 

Q. ¿Cómo es el paquete de productos? ¿Métodos de entrega?

A.1. Cartel de fumigación de exportación estándar embalaje de caja de madera 2. Envío exprés, aéreo, marítimo según los requisitos del cliente, encuentre la forma más adecuada.

 

Para cualquier pregunta, no dude en ponerse en contacto conmigo.

 

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